六氯乙硅烷的制备工艺研究进展

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作者：杨典[1];赵雄[1];万烨[1];孙强[1];郭树虎[1];王芳[1];裴蕾[1]

作者机构：[1]洛阳中硅高科技有限公司,多晶硅材料制备技术国家工程实验室,河南洛阳471023 出版物刊名：化工管理页码：192-193页年卷期：2018年第10期

主题词：六氯乙硅烷；反应精馏；吸附精馏；提纯

摘要：重点介绍了半导体原料六氯乙硅烷的制备工艺，包括精馏法、吸附法、萃取法、光氯化法以及这些方法的组合。对比分析了上述方法的优缺点，展望了半导体原料六氯乙硅烷制备工艺的发展方向。此外，还简要介绍了发展六氯乙硅烷制备工艺对多晶硅厂商的重要意义。